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Harthau wird in einem Urkundenbuch des Klosters Bürgel im Jahre 1365 das erste Mal erwähnt, es wird damals aber wahrscheinlich nur wenige Bewohner gehabt haben.
Der Name rührt von „hart“, d. h. „Waldberg“ her.
Eine der Brücken über dem Harthauer Arm der Wiera (einer der drei Quellbäche, die ab dem Sportplatz Oberwiera den Bach Wiera bilden), fiel dem Hochwasser 1954 zum Opfer.
1950 wurde Harthau der Gemeinde Oberwiera angegliedert.
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